协作开发示例:曝光设备接口

与设备制造商合作,我们将通过提供适合设备的数据并直接控制设备参数来最大限度地提高设备性能。

■曝光设备接口开发

①导入设计数据(GDS/GBR/DXF)并进行数据适用性检查。
②在检查数据编辑界面时,指定设置参数并应用特殊更正。
③输出与曝光设备匹配的 PMC 文件。



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