校正功能介绍③标准蚀刻/变形

◆校正功能：蚀刻校正（偏移校正）
⇒通过考虑间隙值的校正量，一次全部增强指定的实心图案。

◆校正功能：失真校正
⇒使用网格状的测量参数对指定区域中的图案进行坐标校正。

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