◆ 보정 기능 : 에칭 보정 (오프셋 보정) ⇒ 지정 베타 패턴을 간격 값을 고려하여 보정량으로 일괄 보강합니다.
◆ 보정 기능 : 왜곡 보정 ⇒ 격자 측정 파라미터로 지정된 영역의 패턴을 좌표 보정합니다.
※자세한 내용은 해당 문의 해주십시오.
