编程可自动执行指定规则的高级更正过程。
检测周围间隙,目标物体和指定图案形状中的目标位置,并执行指定的校正。
可以在文本文件中指定校正参数。
◆主要自定义纠错案例 考虑间隙/物体的蚀刻校正 检测和纠正特定模式
※详细来说,联络我们。