補正機能紹介③標準エッチング/歪み

◆補正機能:エッチング補正(オフセット補正)
⇒指定のベタパターンを、ギャップ値を考慮した補正量で一括補強します。

◆補正機能:ゆがみ補正
⇒格子状の計測パラメータで、指定の領域のパターンを座標補正します。


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