◆補正機能：エッチング補正（オフセット補正） ⇒指定のベタパターンを、ギャップ値を考慮した補正量で一括補強します。
◆補正機能：ゆがみ補正 ⇒格子状の計測パラメータで、指定の領域のパターンを座標補正します。
※ご質問/資料請求など お問合せ よりお気軽にご連絡ください。
