◆補正機能:エッチング補正(オフセット補正) ⇒指定のベタパターンを、ギャップ値を考慮した補正量で一括補強します。
◆補正機能:ゆがみ補正 ⇒格子状の計測パラメータで、指定の領域のパターンを座標補正します。
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